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SEMI S6
作者:admin 日期:2023年10月08日 來源:www.powergis.net  【字體: 】 點擊:

 

SEMI S6 EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment
半導體制造設備排氣通風的標準

SEMI S6 半導體制造設備排氣通風的標準:
排氣通風若設計不合理,可能會造成人員傷亡、設備乃至整個工廠燒毀。設備供應商應提供有效設計的排氣通風,以保護人員、設備和環境免受風險,排氣通風的優化非常重要。


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